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銅Cu
- 商品編號: 189377
- 商品分類: IC Bumping|蝕刻液 ( Etchant )
產品型號 | RTE-CU30-V | RTE-Cu30-A | RTE-Cu30 |
主要成份 | H3PO4 + H2O2 | H3PO4 + H2O2 | H3PO4 + H2O2 |
作業溫度 | RT | RT | RT |
蝕刻率 ( A / sec ) |
55 | 225 | 60 |
CD Loss (um) for 2×2線路 | 0.1 | 0.4 | 1.2 |
Undercut (um) | <0.5 | < 1 | < 1.5 |
產品特色 | 細線路 CD loss 小 |
較高的蝕刻速率、 細線路銅製程適用 |
高金屬選擇比、優異濕潤性、 不腐蝕 PI 、細線路銅製程適用 |