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鈦Ti / 鈦鎢TiW
- 商品編號: 189376
- 商品分類: IC Bumping|蝕刻液 ( Etchant )
產品型號 | RTE-TiA25 | Ti-893 | Ti-8020-D | RTE-Ti01 |
主要成份 | 二劑型 | HF | F salt + H2O2 | HF + H 2O2 |
作業溫度 | 30 ~ 40 ℃ | RT | RT | RT |
蝕刻率( A / sec ) | 11 ~ 22 | 10 ~ 40 | 25 | 125 |
Undercut | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
適用範圍 | Ti / TiW | Ti | Ti | Ti |
產品特色 | 高金屬選擇比,不腐蝕 PI | 高金屬選擇比,不腐蝕 PI | PI 上無鈦殘留 | 高金屬選擇比,不腐蝕 PI , PI 上無鈦殘留 |